3月27日，在SEMICON China 2025展会现场，深圳新凯来工业机器有限公司（以下简称新凯来）的展位颇受照看。这家半导体装备厂商遮蔽半导体制造多个中枢进程的工艺装备、量检测装备矩阵。

半导体确立的研发并非一旦一夕之功，而新凯来如故酿成家具矩阵，餍足逻辑、DRAM（内存）、NAND（闪存）家具的制造，并救援PlanarFET（场效应晶体管）、FinFET（鳍式场效应晶体管）向GAAFET（全环绕栅极晶体管）工艺演进。

图片开始：每经记者 朱成祥 摄

“工艺装备”多品类家具矩阵

凭证头豹盘考院，半导体确立可分为前说念确立和后说念确立，前说念确立主要用于晶圆制造，触及硅片加工、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜千里积、清洗、抛光、金属化等工艺，所对应的中枢专用确立包括光刻确立、刻蚀确立、清洗确立、离子注入确立、薄膜千里积确立、机械抛光确立、测量确立等，其中光刻确立、刻蚀确立、薄膜千里积确立是半导体前说念分娩工艺中的三大中枢确立。

凭证海外半导体产业协会（SEMI），前说念确立（晶圆制造）投资量占半导体确立投资量约80%，封装和测试确立占比隔离约为10%和8%。在晶圆制造确立中，刻蚀确立、薄膜千里积确立和光刻机隔离占前说念确立价值量的22%、22%和17%。

这次新凯来推出的“工艺确立”中，就包括刻蚀确立和薄膜千里积确立。新凯来将其刻蚀确立定名为“武夷山”，家具包括武夷山1号、武夷山3号和武夷山5号。

其薄膜确立遮蔽了CVD（化学气相千里积）、PVD（物理气相千里积）和ALD（原子层千里积）三大主要薄膜千里积确立。其中CVD有长白山1号和长白山3号；PVD有普陀山1号、普陀山2号和普陀山3号；ALD有阿里山1号、阿里山2号和阿里山3号。

除了两大中枢确立外，新凯来也推出外延孕育确立（EPI）和RTP（快速热处置确立），EPI包括峨眉山1号、峨眉山2号和峨眉山3号；RTP包括三清山1号、三清山2号和三清山3号。

SEMICON China 2025展会现场 图片开始：每经记者 朱成祥 摄

打破薄弱措施，推出多种量测家具

凭证头豹盘考院，全体上，我国在去胶、清洗、刻蚀确立方面国产化率较高，在CMP、热处置、薄膜千里积上近几年国产化打破彰着，而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等确立上，仍较为薄弱。

这次新凯来推出的家具中，光学量测家具包括天门山DBO（衍射套刻量测）、天门山IBO（图形套刻量测）；PX（物理和X射线）量测家具包括沂蒙山AFM（原子力显微镜量测）、赤壁山XP XPS（X射线光电子能谱量测）、赤壁山XD XRD（X射线衍射量测）和赤壁山XF XRF（X射线荧光光谱量测）；功率检测家具包括RATE-CP（晶圆电性能检测）、RATE-KGD（功率Die电性能检测）和RATE-FT（功率单管和模组电性能电测）。

值得一提的是，ag百家乐下三路这次新凯来推出的EPI，亦然国内半导体确立龙头中微公司、朔方华创的发力场地。

朔方华创（002371.SZ，股价415.9元，市值2220.5亿元）2023年年报表露：“外延（EPI）确立是材料孕育的要害确立，平庸利用于集成电路、功率半导体、化合物半导体等边界。甘休2023年底，朔方华创已发布20余款量产型外延确立，累计出货超1000腔。公司自主研发的12英寸常压硅外延确立，竣事了对逻辑芯片、存储芯片、功率器件及特点工艺的全遮蔽，且已一齐生效量产，成为客户的基线家具。”

中微公司（688012.SH，股价184.31元，市值1147.08亿元）早在2023年2月的投资者联系活动纪录表中就暗示：“（公司）有向上十年作念单晶硅外延确立的警戒，是以咱们当今紧锣密饱读开辟在硅和锗硅方面在集成电路需要的EPI确立。因为咱们有长足的薄膜确立警戒，咱们有信心能开辟出很好的EPI确立。”另据中微公司2024年功绩快报：“公司EPI确立已告成插足客户端相产考据阶段。”

此外，中微公司也在积极拓展量检测业务。中微公司2024年12月公告表露：“跟着微不雅器件越作念越小，检测确立也成为更要害真的立，市集增长速率很快，成为占半导体前说念确立总市集约11%的第四大确立门类。检测确立市集主要分为光学检测确立和电子束检测确立，其中公司已通过投资布局了光学检测确立板块，而超微公司（中微公司控股子公司）琢磨开辟电子束检测确立，将不断扩大对多种检测确立的遮蔽。电子束量检测确立是芯片制造和先进封装工艺过程良率规定的要害确立，对我国发展以东说念主工智能为代表的新质分娩力至关迫切，是我国的短板之一，亟待竣事零的打破。”