ag百家乐网站 国产3nm芯片成了！中科院顺利研发全固态DUV光源时候

　　中国科学院近期顺利研发了一项打破性的固态DUV（深紫外）激光时候ag百家乐网站，这种时候或者辐射193nm的干系光，与当今主流的DUV曝光波长一致。这一时候的顺利，为激动半导体工艺的发展至3nm节点奠定了基础。

　　当今，全国逾越的光刻机制造商如ASML、、尼康等，齐选拔了氟化氙（ArF）准分子激光时候，通过氩气和氟气搀杂物在高压电场下生成不健硕分子，开释出193nm波长的光子。这些光子以高能量短脉冲的神志辐射，输出功率达到100-120W，频率为8k-9kHz，并通过光学系统诊疗后用于光刻竖立。

　　与现存时候不同，中科院的固态DUV激光系统选拔全固态筹画，基于平正的Yb:YAG晶体放大器生成1030nm激光。然后，激光通过两条光学旅途进行波长诊疗。其中，一条旅途选拔四次谐波诊疗（FHG）将1030nm激光转为258nm，输出功率为1.2W；另一条旅途则通过光学参数放大（OPA）将其转为1553nm，输出功率为700mW。

　　接下来，ag百家乐刷水攻略过程诊疗后的两路激光通过串级硼酸锂（LBO）晶体搀杂，最终产生193nm波长的激光光束。该时候最终或者取得平均功率为70mW，频率为6kHz，且其线宽低于880MHz，半峰全宽（FWHM）小于0.11皮米，光谱纯度与现存商用准分子激光系统尽头，因此具有后劲用于3nm工艺节点的制造。

　　这种全固态DUV光源时候的上风在于，不错大幅度减少光刻系统的复杂度和体积，裁减对稀奇气体的依赖，并大幅降拙劣耗。磋磨时候细节照旧在海外光电工程学会（SPIE）官网上公开，标识着这一时候的初次亮相。

　　尽管该时候在光谱纯度上照旧接近现存商用准分子激光系统，但在输出功率和频率上仍存在差距。与ASML的时候比较，中科院的固态DUV激光输出功率惟有0.7%的水平，频率也惟有约2/3，因此仍需要接续迭代和晋升，以完了更普通的运用。