发布日期：2024-05-19 21:36 点击次数：170
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开首：实质编译自eenewseurope，谢谢。
据报说念，初创公司Lace Lithography AS（挪威卑尔根）正在建树一种光刻技能，该技能使用向名义辐照的原子来界说特征，其永别率超出了极紫外光刻技能的极限。
Lace Litho 所称的 BEUV 表面上不错罢了更讲求的特征，赞助晶体管的抓续袖珍化并蔓延摩尔定律。
该公司由卑尔根大学首席实行官 Bodil Holst 指示和首席技能官 Adria Salvador Palau 于 2023 年 7 月共同创立，后者在卑尔根大学取得博士学位，但当今在西班牙巴塞罗那运营。
传统的 EUV 系统使用 13.5nm 波长的光，通过一系列反射镜和掩模在晶圆上酿成图案。原子光刻技能未必罢了平直无掩模图案化，其永别率以致小于受波长遣散的 EUV 系统所能达到的永别率。
该公司在其网站上宣称：“通过使用原子代替光，咱们为芯片制造商提供了跨越现时技能 15 年的功能，并且本钱更低、能耗更低。”
Salvador Palau 和 Holst 指示共同撰写了一篇发表在《物理挑剔 A》上的论文，题为《哄骗中性氦原子进行真正尺寸名义映射》。该论文详备先容了立体氦显微镜的罢了和操作。
FabouLACE 是一个由欧盟资助的花式，旨在建树基于色散力掩模的氦原子光刻技能，ag百家乐网站其预算为 250 万欧元，由欧洲翻新委员会提供。该花式脱手日历为 2023 年 12 月 1 日，将抓续到 2026 年 11 月 30 日。
FabouLACE 选择亚稳态原子和基于色散力的掩模，可罢了 2 纳米工艺。欧盟委员会暗意，Lace 光刻技能已获授权在 2031 年前将该技能推向商场。与此同期，该技能的性能将由 IMEC 磋议机构进行监测和考据。NanoLACE 是欧洲早期的一个磋议花式，于 2024 年 12 月 31 日遣散。该花式于 2019 年脱手，已取得 336 万欧元的资助，其预算为 365 万欧元。
Lace Lithography 于 2023 年 7 月筹集了约 450,000 欧元的种子轮融资，由 Runa Capital、Vsquared Ventures、Future Ventures、欧洲翻新委员会、挪威翻新局和挪威磋议委员会提供赞助。
https://www.eenewseurope.com/en/lace-lithography-uses-atoms-to-go-beyond-euvl/
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