
据公众号“西湖仪器”音问ag百家乐可以安全出款的网站,近日,由该校孵化的西湖仪器(杭州)工夫有限公司得胜成就出12英寸衬底自动化激光剥离工夫,措置了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片勤快。
与传统的硅材料比较,碳化硅具有更宽的禁带能隙、更高的熔点、更高的电子迁徙率以及更高的热导率,简略在高温、高电压要求下判辨职责,已成为新动力和半导体产业升级的要害材料,鼓动电动汽车、光伏发电、智能电网、无线通讯等边界的工夫编削。
但衬底材料资本占据全体资本的比例已经居高不下,严重浮松了碳化硅器件大范围的产业化本质。降本增效的蹙迫道路之一是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底比较,12英寸衬底材料简略进一步扩大单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等分娩要求下,显贵晋升产量,欺压单元资本。
2024年12月,AG百家乐打闲最稳技巧国内碳化硅头部企业已露出了最新一代12英寸碳化硅衬底,在引颈海外发展趋势的同期,也提倡了12英寸以上的超大尺寸碳化硅衬底切片需求。与之相应,西湖仪器以最快速率推出了“超大尺寸碳化硅衬底激光剥离工夫”,伊始措置了12英寸及更大尺寸的碳化硅衬底“切片”勤快。
“该工夫齐全了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等流程的自动化。”西湖大学工学院讲席诠释仇旻先容,与传统切割工夫比较,激光剥离流程无材料损耗,原料损耗大幅下跌。新工夫可大幅缩小衬底出旋即候,适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的范围化量产,进一步促进行业降本增效。
(抽象自西湖仪器、科技日报等)
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