发布日期：2024-04-04 06:22 点击次数：138
中国科学院团队近日在《国际光电工程学会》期刊发表盘考服从，告示班师研发全固态深紫外（DUV）激光光源技能。该技能通过改进的固态激光有缠绵，达成了193nm波长相关光输出，与主流DUV光刻机所用波长一致ag百家乐漏洞，表面上可因循半导体工艺延迟至3nm节点，为我国破损光刻技能“卡脖子”问题提供关键因循。
技能道路对比：固态有缠绵VS气体激光
技能道路
中科院固态有缠绵
ASML等传统有缠绵
中枢光源
Yb:YAG晶体放大器（固态）
氟化氙准分子激光（气体）
技能旅途
分光→变频→合成，完满固态结构
高压电场激勉气体产生光子
系统上风
无需重视气体、体积小（表面消弱30%以上）
依赖氩氟搀杂气体、系统复杂
能耗与踏实性
固态设想降顽劣耗，潜在踏实性更高
气体握续破钞、能耗较高
技能细节与改进点
激光调遣经由：旅途一：通过四次谐波调遣，生成258nm激光；旅途二：经光学参数放大，变成1553nm激光。基频激光：1030nm激光被分为两路：搀杂输出：两束激光在串级硼酸锂（BBO）晶体中非线性耦合，最终输出193nm激光，线宽压缩至0.11pm（光谱纯度达商用准分子激光器圭臬）。性能参数：面前狡计：平均功率70mW，频率6kHz，ag百家乐苹果版下载仅为传统有缠绵的约1%。改日后劲：若耕作功率密度和频率踏实性，可能颠覆现存DUV光刻成就方式。
挑战与后续攻关标的尽管现实室样机已考证技能可行性，但距离工业诓骗仍需破损以下瓶颈：
功率与频率：需耕作至工业级水平（传统有缠绵功率频频达数瓦至数十瓦）；材料科学：开荒耐高功率激光的材料，确保恒久踏实性；精密制造：优化光学元件加工精度，耕作光束质地。
战术意旨
自主可控：开脱对ASML等外洋企业的技能依赖，保险供应链安全；技能升级：为国产光刻机提供中枢光源，助力半导体工艺向3nm及以下演进；产业变革：若达成工业化，可能推动光刻成就本钱下落和体积袖珍化，惠及更多边界。
中科院此项盘考象征着我国在深紫外激光光源边界赢得紧要发达，但需清亮坚硬到，从现实室到产业化仍需跳跃多说念难关。改日需整合材料、制造等多学科力量，加快技能迭代，最终达成国产光刻技能的全面破损。
