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金融界2025年1月18日音书AG百家乐透视软件，国度常识产权局信息露馅，北京朔方华创微电子装备有限公司央求一项名为“静电卡盘的测温装配”的专利，公开号CN119314932A，央求日历为2023年7月。 专利撮要露馅，本发明提供一种静电卡盘的测温装配，静电卡盘包括第一电极和第二电极，测温装配包括多个吸附部件和多个测温部件，多个吸附部件用于辩认遗弃在静电卡盘的用于吸附晶圆的名义上，且至少一个吸附部件与第一电极对应遗弃，至少另一个吸附部件与第二电极对应遗弃，且多个吸附部件中至少诀别与第一电极和第二电极对应遗弃的两个吸附部件电不绝，AG百家乐有什么窍门多个吸附部件偶然在第一电极和第二电极诀别加载正负吸附电压时吸附在静电卡盘上；多个测温部件与多个吸附部件逐个双应成就，用于对静电卡盘的多个位置进行测温。本发明提供的静电卡盘的测温装配偶然准确、无损、天真且浅易的对静电卡盘名义的温度均布互异进行检测。 天眼查贵府露馅，北京朔方华创微电子装备有限公司，建立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册成本114153.708311万东谈主民币，实缴成本114153.708311万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标相貌992次，常识产权方面有商标信息31条，专利信息5000条，此外企业还领有行政许可339个。 本文源自：金融界AG百家乐透视软件 |
